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NanoCalc 反射膜厚測量系統

膜厚測量 薄膜的光學特性主要有反射和干涉。NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm -250um的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同,在1秒鐘內可以分析單層或最多達到10層的膜厚。

 

產品特點

  • 可分析單層或多層薄膜;
  • 分辨率達0.1nm;
  • 適合于在線監測;

使用原理

最常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理,通過測量寬光譜範圍內的反射率曲線來進行膜厚測量。

查找n和k值

可以進行多達十層的薄膜測量,薄膜和基體材質可以是金屬、電介質、無定形材料或 晶等。NanoCalc軟件包含了大多數材料的n和k值數據庫,用戶也可以自己添加和編輯。

 

  膜厚測量

應用

NanoCalc薄膜反射材料系統適合于在線膜厚測量,包括氧化層、中氮化 薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質上的抗反射涂層、抗磨涂層等。

NANOCALC-2000-UV-VIS-NIR

Wavelength:

250-1100 nm

Thickness:

10 nm-70 um

Light source:

Deuterium and Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-UV-VIS

Wavelength:

250-850 nm

Thickness:

10 nm-20 um

Light source:

Deuterium and Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-VIS-NIR

Wavelength:

400-1100 nm

Thickness:

20 nm-10 um (optional 1 um-250 um)

Light source:

Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-VIS

Wavelength:

400-850 nm

Thickness:

50 nm-20 um

Light source:

Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-NIR

Wavelength:

650-1100 nm

Thickness:

70 nm-70 um

Light source:

Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-NIR-HR

Wavelength:

650-1100 nm

Thickness:

70 nm-70 um

Light source:

Tungsten Halogen

NANOCALC-2000-512-NIR

Wavelength:

900-1700 nm

Thickness:

50 nm-200 um

Light source:

High-power Tungsten Halogen

NC-2UV-VIS100-2

Bifurcated UV fiber
400 um x 2m
2x SMA connectors
Flexible metal jacketing

NC-STATE

Single point reflection measurement for non transparent samples

Step-Wafer 5 Steps 0-500 mm, calibrated 4"

NC-7UV-VIS200-2

Reflection probe for application microscopy with MFA-C-Mount

Step-Wafer 5 Steps 0-500 mm, calibrated 4"

Angle of incidence:

90°

Number of layers:

3 or fewer

Reference measurement needed:

Yes (bare substrate)

Transparent materials:

Yes

Transmission mode:

Yes

Rough materials:

Yes

Measurement speed:

100 milliseconds to 1 second

On-line possibilities:

Yes

Mechanical tolerance (height):

With new reference or collimation (74-UV)

Mechanical tolerance (angle):

Yes, with new reference

Microspot option:

Yes, with microscope

Vision option:

Yes, with microscope

Mapping option:

6" and 12" XYZ mapping tables

Vacuum possibilities:

Yes

 

 


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